L'équipement de la série CMP développé indépendamment par LSTD fournit des fabricants de matériaux semi-conducteurs tels que SI, SIC, GaAs, LNP, Gan, CDTE, Diamond, etc. L'équipement de recyclage de la plaquette est entré dans plusieurs sociétés de fabrication de semi-conducteurs telles que SMIC; La ligne de production automatisée pour le polissage en carbure de silicium sera livrée à l'usine du client pour la production d'essai dans Q 1 2024;
Sur la base du laboratoire d'origine, des millions de yuan seront investis pour construire un niveau de 100000, un niveau de 10000 et des salles blanches de niveau 100 et des équipements de test de précision, qui seront inspectés et mis en service dans la seconde moitié de 2024.
Ligne de polissage 6 "/ 8" SIC
Gauche de sic 6 "/ 8"
Classe de nettoyage 100 classe
Machine de nettoyage à plusieurs emplacements
Capacité d'inspection
