Le liquide de broyage est divisé selon son mécanisme d'action : liquide de broyage à action mécanique, liquide de broyage à action mécanique chimique.
Liquide de meulage mécanique : le diamant, le B4C, etc. sont utilisés comme abrasifs, dispersés dans le milieu liquide en ajoutant des dispersants, etc., pour former un liquide à effet de meulage, appelé liquide de meulage au diamant, liquide de meulage au carbure de bore, etc. L'abrasif est distribué librement dans le liquide de dispersion, et le meulage et l'amincissement de la pièce sont réalisés en utilisant le principe selon lequel la dureté de l'abrasif est supérieure à celle de la pièce à meuler. Selon la surface de l'abrasif, la taille des particules, la configuration du liquide de meulage, la stabilité de l'équipement de meulage, etc., une fois le meulage terminé, il est facile de laisser de grandes ou petites rayures sur la surface de la pièce. Par conséquent, les abrasifs à action mécanique sont généralement utilisés pour le meulage grossier, suivi du meulage et du polissage de précision.
Fluide de meulage chimico-mécanique : Le fluide de meulage chimico-mécanique utilise le principe de « meulage et durcissement doux » dans l'usure, c'est-à-dire le polissage avec des matériaux plus doux pour obtenir une surface polie de haute qualité. C'est une combinaison de broyage mécanique et de corrosion chimique. Il forme une surface lisse et plane à la surface du milieu broyé grâce à l'action de broyage et à l'action de corrosion chimique des particules ultrafines. Par conséquent, le fluide de polissage mécano-chimique est également appelé fluide de polissage mécano-chimique (Chemical Mechanical Polishing, dénommé CMP). En présence d'une certaine pression et d'une suspension de polissage, la pièce à polir se déplace par rapport au tampon de polissage, et une surface lisse est formée sur la surface de la pièce polie au moyen de la combinaison organique de l'effet de meulage des nanoparticules et de la effet corrosif de l'oxydant.
