Machine de polissage mécanique chimique
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LSTD est un fabricant fiable de machines de polissage chimico-mécanique en Chine. Conçues pour répondre à la demande précise de polissage chimico-mécanique de plaquettes semi-conductrices telles que Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC, etc. Les machines présentent à la fois une stabilité dynamique et une application personnalisée. LSTD se concentre sur le polissage des plaquettes de semi-conducteurs depuis plus de 10 ans. Fournissez des solutions fiables de polissage de plaquettes de semi-conducteurs à plusieurs fabricants de semi-conducteurs dans le monde entier. Une équipe de conception professionnelle, une équipe de R&D de processus et une équipe de construction de machines ainsi que des installations nécessaires qualifiées garantissent la livraison réussie des équipements semi-conducteurs.
Types de machine de polissage chimico-mécanique
Le type de base adopte une structure de refroidissement de plaque de polissage à chemin unique en labyrinthe pour assurer efficacement le
uniformité de la dissipation thermique et maintien de la forme de la plaque pendant le processus de polissage, afin d'assurer la précision du polissage en termes de matériel. L'utilisation d'un cylindre de grande taille à faible friction spécialement conçu et fabriqué par LSTD garantit la résistance du traitement ainsi que la précision du processus.
Type de CD --- Les machines de type CD sont entraînées conjointement par un guide central.
Ajout d'un ensemble de rouleaux entraînés par le centre de la plaque de pression qui entraîne la rotation de quatre plaques pendant le processus. Cette structure peut éliminer la différence de vitesse des plaques de pression provoquée par les différentes caractéristiques des cylindres pneumatiques et les différents frottements de polissage sur chaque tête, de manière à mieux garantir la cohérence des résultats de polissage de chaque tête ; Et le processus de polissage est plus flexible.
Pour les machines IDP de grande taille, le positionnement et la commutation de station des plaques en céramique peuvent être réalisés en ajoutant des dispositifs à rouleaux de guidage internes et externes, de manière à réaliser le chargement et le déchargement dans une seule station. Il peut également réaliser la connexion de plusieurs machines en intégrant un manipulateur pour former une ligne de production automatique.
Moyen de polissage
LSTD produit différents types de consommables : poudre à polir, pâte à polir, tampon à polir, plaque à polir. Il existe différents types de consommables, tels que l'aluminium blanc, le carbure de silicium vert, le diamant, etc. Vous pouvez donc facilement obtenir le support de polissage le plus adapté à votre type de puce.
Application de machine de polissage chimico-mécanique
Caractéristique et avantage
● Concentration et expertise
● Couverture plus large du marché cible
● Plus proche des clients
● Gamme complète de produits
● Marketing actif
● Modèle de coopération mature avec des fournisseurs du monde entier
● Savoir-faire intégré dans différentes industries
1. Les produits personnalisés sont personnalisés en fonction des besoins du client, répondant parfaitement aux besoins du client.
2. PLC Siemens et écran tactile (4,3"), moteur TECO, accessoires de haute qualité garantissent la qualité du produit.
3. service après-vente, 7 * 24- heures de conseils professionnels en ligne à tout moment.
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